環(huán)氧乙烷滅菌器屬于滅菌器的一種，其主要的目的就是滅菌，環(huán)氧乙烷滅菌器在滅菌階段包括穿刺進藥、滅菌、排氣幾個過程。

　　 (1)穿刺進藥加濕成功后，真空發(fā)生器工作，抽空到真空下限，穿刺針頂出，穿刺氣罐。穿刺結(jié)束后，壓力變送器監(jiān)視壓力變化，判斷壓力是否符合要求，表明環(huán)氧乙烷氣體的濃度。

　　 (2)滅菌  在整個滅菌階段，滅菌室內(nèi)始終保持負壓狀態(tài)，避免有環(huán)氧乙烷氣體泄漏，滅菌時間由程序設定。

　　 (3)排氣  當滅菌結(jié)束后，進行脈動抽空排除內(nèi)室的環(huán)氧乙烷氣體。具體過程是首先抽空到18kPa，然后進空氣回升到55kPa，如此運行30min。在排氣階段，能排去滅菌室內(nèi)大部分環(huán)氧乙烷氣體，但滅菌物品內(nèi)仍含有環(huán)氧乙烷殘留，需作進一步處理。